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2025-05

中國科學家研髮大口徑高性能衛星激光通信用MEMS快反鏡

中國科學院上海微繫統與信息技術研究所武震宇研究員與王櫟皓助理研究員團隊，成功開髮了一款10毫米大口徑壓電驅動MEMS快反鏡，爲衛星激光通信提供了高精度、快速響應的小型化解決方案。相關成果於4月29日髮表於國際期刊《微繫統與納米工程》。

該器件採用雙層異構集成技術與晶圓級鍵合工藝，解決了傳統機械快反鏡體積大、功耗高，以及現有MEMS鏡麵小、帶寬低等難題。通過創新力學定向結構設計，光束控製精度顯著提昇，動態表麵形變在準靜態驅動下僅2納米，滿足衛星遠距離激光通信的嚴苛需求。研究團隊表示，該技術可應用於星間高速激光鏈路，未來將進一步優化鏡麵尺寸與閉環控製性能，推動航天通信終端向更輕量化、高性能方向髮展。

新聞來源：中國科學院